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科技

富加镓业实现 6 英寸氧化镓晶锭技术突破,厚度超 70mm

作者 bolin
2026年8月23日 1 分钟阅读
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IT之家 8 月 23 日消息,据富加镓业消息,近日,富加镓业采用自主垂直布里奇曼法(VB 法)成功生长出厚度超 70mm 的 6 英寸氧化镓单晶晶锭,经平湖实验室 HRXRD 检测,结晶质量优异;同时经中国计量科学研究院检测,电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。

据介绍,晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片,直接降低单片成本。该 6 英寸晶锭厚度经中国计量科学研究院权威检测,晶锭厚度平均值 70.58 mm,极差 0.12 mm,已超过主流碳化硅晶锭 20-50mm 的高度。

平湖实验室对 VB 氧化镓衬底进行了 HRXRD 双晶摇摆曲线测试,结果如下:

图片图片

5 个点位的 FWHM 均值为 38.71 arcsec,均低于 50 arcsec,表明衬底整体结晶质量优异。

此外,电阻率是影响器件正向导通效果的关键参数,其均匀性决定了器件性能的一致性,是量产良率的重要保障。中国计量科学研究院对该 6 英寸衬底进行了电学性能检测,电阻率均值:16.4 (mΩ·cm) ,均匀性:6.8%。测试结果表明,该电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。

IT之家注意到,第二十届全国晶体生长与材料学术会议于 2026 年 8 月 22-25 日在山东省济南市南郊宾馆召开,由中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会主办、山东大学承办。届时,富加镓业将在会议同期展览中设立展台,携带众多款不同晶向的 2-8 英寸氧化镓衬底及外延产品集中亮相,涵盖 (100)、(010)、 (001) 、(011) 等多种晶面取向,

▲ 2inch 氧化镓衬底

▲ 6inch 氧化镓衬底
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bolin

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